Parylene Process
패럴린 코팅 공정은 Sputtering같은 금속증착 공정과 유사하나, 증착 속도와 진공도 등을 비교하면 상이한 공정임을 알 수 있다. 패럴린 코팅 공정(패럴린 N type적용기준)은 다음 그림과 같이 표현할 수 있다.
- Step 1기화부 (vaporizer) 약 100~110도 온도에서 Parylene Dimer 기화되기 시작함
- Step 2열분해부 (Pyrolizer) 기화된 패럴린 분자가 605도 이상으로 유지되고 있는 furnace에서 단량체 (monomer)로 분해됨
- Step 3진공 챔버(vacuum Chamber) 단량체 분자가 상온의 진공 챔버로 이동하여 모재의 표면과 반응하여 중합체 형성함
- Step 4냉각기(Cold trap) 챔버에서 모재에 증착되고 남은 단량체 분자를 -100도 이하로 유지되고 있는 냉각기에 흡착
