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Semicon Division

Remote Plasma Source 요약정보 및 구매

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제조사 MUEGGE
원산지 Germany
브랜드 MA2000/3000-series

제품 상세설명

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▣ Ultra Clean Remote Plasma Source
▣ Ideal for high tech semiconductor process
▣ High Plasma Density
▣ Water Cooled Plasma Zone
▣ Unique Compact Design
▣ Application: 
   Chamber Cleaning, Isotropic Etching, Surface Modification,

   Back End Application
 

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