제품 기본설명
Plasma Etcher
제품 상세설명
▣ Optimized for the removal of thick Photo Resist layer
(SU-8 Removal)
▣ No attack to metals like Ni, Ni/Fe, Au, Cu etc.
▣ Very low thermal load for Substrates
▣ Substrate size up to 460mm x 460mm
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